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    原子力顯微鏡探針量測系統之動態建模與控制
    • 材料科學與工程系 /94/ 碩士
    • 研究生: 邱碩峰 指導教授: 郭中豐
    • 本文旨在探討原子力顯微鏡(Atomic force microscopy)探針之物理模型,建構其運動數學模式與設計控制器。首先利用漢米頓(Hamilton’s principle)原理得到探針系統的…
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